Технология травления простая
Технология травления магниевых пластин
Засветка
Требуемый уровень по шкале Штофера примерно равен 9 (8-10). Для тонких деталей требуется "11" уровень. Мощность лампы засветки 400-600mJ/cm2.
Проявление
Погрузите магниевую пластину в 1% раствор гидроокиси натрия на 8-10 секунд, или в 5% водный раствор карбоната натрия (Na2CO3) или проявляющий раствор Hydro-Solve на 1минуту, при температуре 30°С, затем извлеките магниевую пластину, аккуратно промойте губкой в чистой воде.
При необходимости снова погрузите магниевую пластину в проявитель.
Для ускорения процесса проявления помещайте магниевую пластину в нагретый раствор.
ПРОМОЙТЕ ЧИСТОЙ ВОДОЙ, рекомендуется промывать из лейки.
Обжиг пластины не требуется.
Взвешивание
Запишите вес до травления в журнал.
Предварительное травление
Поместите пластину в 3% водный раствор азотной кислоты (HNO3) комнатной температуры и слегка почистите мягким тампоном, затем промойте чистой водой.
Травление
При травлении воспользуйтесь руководством к травильной машине.
Формула для ванны:
Азотная кислота - 41.8°Be'19% по объему
Травильная добавка - 4% по объему
Вода - 77% по объему
Характеристики травильной машины при старте травления:
Глубина опускания лопаток в раствор - 8-10мм
Скорость вращения лопаток- 380 об/мин
Начальная температура раствора - 28°C
Скорость вращения держателя пластины - 6-8 об/мин
Скорость травления: 1 мм в глубину за 7 минут для нового раствора
После травления промойте пластину водой или водным раствором трехзамещенного фосфата натрия, затем высушите.
Добавление кислоты в раствор:
Взвесьте пластину и запишите данные в журнал – вес после травления, чтобы рассчитать количество растворенного магния, затем добавьте азотную кислоту соответственно, около 160мл азотной кислоты на 1 унцию растворенного в растворе магния. Не забудьте измерить глубину погружения лопаток после добавления раствора и выровнять их по необходимой.
Промывка и обрезка пластины до размеров клише
Снятие оставшегося фоторезиста с полученного клише
Погрузите пластину в 10% раствор гидроокиси натрия (NaOH) или в специализированный раствор для удаления фоторезиста при температуре 30°C в течение около 3 минут, затем выньте пластину, почистите щеткой и промойте.