Технология травления от Захаркина
Полный цикл операций по изготовлению магниевых клише методом травления.
1. машину и ванну подготовить (рассчитать объем доливаемой кислоты после предыдущего травления, долить кислоты после предыдущего травления, перемешать ванну 10 минут, слить излишек раствора из ванны, образовавшийся после добавки кислоты),
2. просмотреть пленку и при необходимости ее отретушировать, и дать подсохнуть ретуши,
3. разметить лист магния для отрезки заготовки,
4. отрезать заготовку магния (по разметке),
5. протереть от частиц пыли копировальную раму,
6. протереть от пыли и "пальцев" пленку,
7. снять защитную пленку с заготовки, поместить заготовку и пленку в раму,
8. проэкспонировать заготовку,
9. вынуть заготовку из рамы,
10. проявить пластину в ванночке с трихлорэтиленом,
11. промыть заготовку водой после проявки и осушить сжатым воздухом,
12. просмотреть изображение на заготовке и при необходимости его отретушировать,
13. рассчитать по предыдущему травлению скорость травления и определить время травления для нашей заготовки, исходя из требуемой глубины,
14. взвесить клише и записать результат в журнал травления,
15. протравить пластину в ванночке с 7-% раствором азотной кислоты,
16. установить заготовку в травильную машину, установить время травления, температуру и обороты лопаток, запустить машину,
17. после травления снять клише, промыть его водой с содой, осушить, смыть фоторезист, промыть водой, осушить сжатым воздухом, протереть с оборота,
18. взвесить клише и записать результат в журнал травления,
19. рассчитать количество перешедшего в ванну магния и концентрацию в ванне и записать результат в журнал травления,
20. измерить глубину травления и записать результат в журнал травления,
21. оценить результат травления (угол, пики, подтрав) и записать результат в журнал травления,
22. сделать вывод о состоянии ванны и скорректировать на следующее травление температуру, концентрацию кислоты и обороты лопаток, записать результат в журнал травления,
23. обрезать заготовку после травления и обработать торцы либо на фрезерном станке, либо шкуркой или напильником,
24. бормашинкой и/или штихелями убрать дефекты.
Все это - при условии, что работаем с резистом, проявляемым проявителем на водной основе, а если использовать Revere-овский Red-Top позитивный резист, то его надо еще дубить в печке 5 минут.